SEMI

인증개요

SEMI는 반도체와 평판 디스플레이 장비 및 재료에 대한 규격으로 SEMI가 수요자, 공급자 및 관련업체 전문인들의 추천과 요구를 수렴하여 집대성한 협회 규격서로 케미컬, 장비자동화(하드웨어, 소프트웨어), 재료, 가스, 마이크로 패턴, 설비 및 안전, 패키징, 평판 디스플레이 등 관련하여 열 개의 분야로 구분되어 있으며, 세계반도체와 평판 디스플레이 장비 및 재료에 대한 가장 포괄적인 국제 표준 규격임

관련지침

SEMI S2, : SEMI S8

대상품목

케미컬	마이크로 패턴	장비자동화(하드웨어, 소프트웨어)
가스	설비 및 안전	평판 디스플레이 등 반도체
재료	패키징	평판 디스플레이 장비 및 재료

진행절차

• 시험소와 규격 협의
• 도면 및 구조 검토
• 해당 규격에 준한 설계 및 제작
• 기술문서 작성
• 제품 테스트
• SEMI Evaluation Report 발행
• 다국적 인증기관의 인증서 발행(optional)

획득기간

3~4개월

제출자료

• SEMI S2 제출서류
  사용자 매뉴얼, 위험경고라벨 리스트 및 위치도, 안전 인터록 상세정보, 비상차단 상세정보, 전기적 설계 상세자료, 화재방지관련 자료, Heated Chemical Baths,
• SEMI S8 제출서류
  전기에너지 및 공압, 유독성/화재성 화학물질의 Lock-out/Tag-out 절차서, 기계적 설계정보, 지진보호 관련 상세자료, 자동화운반기 EN775 위험분석자료, 미국/유럽규격인증서 또는 성적서/설명서, 위험폐기물, 대기오염 감소방안 문서, 폐기처리 절차서, 배기배출자료, 화학물질 MSDS, 위험분석, 위험 처리방안, 개인용보호구 사용설명서, 위험가스 사용 및 검출방법, 위험경고라벨, 이온화방사선 자료, 비이온화방사선자료, 레이저 자료, 음압레벨자료